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YJ-ZF350A高真空单室热蒸发体系

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YJ-ZF350A高真空单室热蒸发体系


  • YJ-ZF350A高真空单室热蒸发体系

  • 详细先容

亚搏网页登录:长春高新产业大学考研

亚搏网页登录:推销自己时间:201八年11月12日

亚搏网页登录:史诗装备装备:DZS-500S双室自动化束与多效蒸发取得联系系统

亚搏网页登录:手艺人关键:

亚搏网页登录:一、自动化束体系中的核心制成及技术指标

亚搏网页登录:1、人体极限真空室度:≤8.0×10-5Pa (经烘烤除气后);

亚搏网页登录:2、网络体系重力作用检漏漏率:≤5.0×10-8Pa.L/S;暂停服务12时间≤5Pa.

亚搏网页登录:3、标准体系暂时性辰裸露出大气质量并充死板氦气后,骤起头抽气,4五min大约到6.6×10-4Pa;

4、安全标准体制关键性由挥发涡流室、E型微电子枪、热挥发电级、弯曲基片供暖台、级任务气路、抽气安全标准体制、涡流精确测量、自动装配机台及电气控制安全标准体制等轮廓线构造;

亚搏网页登录:1、真空系统室配件:1套

蒸空室为U型壳体活关门布置图,宽度为500mm×500mm×600mm,四壁水道散热,挂式防污板,选购良好不銹钢知料拍摄,氩弧对接焊,内心消停特殊工序拋光电解法救治,主板接口认同金属质无氧铜垫圈密封圈垫或氟硫化橡胶套密封圈垫;

亚搏网页登录:真空环境室引擎上焊有各样产品规格的法兰部接口协议下述:

亚搏网页登录:1.1、RF200卡箍电源接口:3个(接改变基片进行加热台零件);

亚搏网页登录:1.2、RF100法兰片接口协议:2个(看出观察窗口);

亚搏网页登录:1.3、CF16卡箍插口:2个(进气插口);

亚搏网页登录:1.4、CF200法兰片端口:2个(接份子泵);

亚搏网页登录:1.5、CF35法兰盘插孔:6个(接电离规管、膜厚仪、旁抽角阀、1个备品);

1.6、CF16法兰部音频音频接口:九个(进气音频音频接口、烘烤光照、冲气阀、蒸发器参比电极隔板外源性传动轴);

亚搏网页登录:1.7、ZC16活套法兰数据接口:一个(接低蒸空规管);

亚搏网页登录:2、转动基片烧水台:1套 

亚搏网页登录:2.1、基片寸尺:可筹划5″基片;

亚搏网页登录:2.2、基片受热Z超低温度600°C±1°C,由电偶反馈控制不起作用控制;

亚搏网页登录:2.3、基片可不间断变换展转,转数5~60转/分,建筑机电驱动安装磁藕合公司合理;

亚搏网页登录:2.4、自动放肆样品管理挡片应用程序:1套;

2.5、原材料托:俩;                                        

亚搏网页登录:3、光电子枪及电源适配器:1套 

亚搏网页登录:3.1、270°E型光学枪及压力电,光学枪额定功率0—8 KW调节(武汉兴南);

亚搏网页登录:3.2、电商枪阳极电压值:6kv、8kv;

3.3、电子器材束可二维检测冶疗,Z大检测正反15mm(X,Y),具有无线控制范围盒,可手执无线控制范围调控检测;

3.4、风冷式坩埚:六穴坩埚,每个个储存量约为11ml,电动三轮开启;单穴规格尺寸:Φ30mm ×Φ22mm ×22mm(圆台型);

亚搏网页登录:3.5、可放肆坩埚身份变动;

亚搏网页登录:3.6、由手动操作时驱动程序坩埚侧板;  

亚搏网页登录:3.7、要具备髙压灭弧自动归零功郊; 

亚搏网页登录:4、石英砂尖晶石自激振荡膜厚监察仪(南京泰尧):1套 

亚搏网页登录:4.1、数据监测膜厚凸显人数:0~99μ9999Å;

亚搏网页登录:4.2、薄厚分辩率:1Å;

亚搏网页登录:4.3、运行速度突显分辩率:0~9999.9 Å;

亚搏网页登录:4.4、合理误差:1 Å;

亚搏网页登录:4.5、检测出生时辰显示占比:4分~991天;

亚搏网页登录:5、目标气路:2路

亚搏网页登录:5.1、200SCCM茶叶品质2g流量规范器、充气垫阀CF16、输送管、讨论稿等:1路(天津)

亚搏网页登录:5.2、线路、谈话等:1路;

亚搏网页登录:5.3、充汽阀D6、聚氨酯保温管、讨论稿等:1路(充进氦气或典雅);

亚搏网页登录:6、抽气空气能热泵及气动阀门、管道铺设:1套

6.1、塑料份子泵及直流变频空调控制开关电源:1台(抽速1200升/秒,东莞KYKY);    

亚搏网页登录:6.2、直联系统泵:1台(抽速8升/秒,飞越); 

亚搏网页登录:6.3、KF40电磁感应气体压力阀:1台(济南);

亚搏网页登录:6.4、份子泵与机泵软接不锈钢连接管:1套 ;

亚搏网页登录:6.5、机械泵与进口真空室范围内的旁抽管线、KF40涡流相隔绝的距离阀及角阀CF35:1套 ;

亚搏网页登录:6.6、CF200-B闸板阀:1台(用在份子泵与真空泵室决裂);

亚搏网页登录:7、市场及蝶阀法兰模块安全装置:1套

亚搏网页登录:7.1、RF100磁性扩张观察窗挡片:5个;

亚搏网页登录:7.2、CF16瓷器封接两芯引线卡箍:3个(照明电器及内烘烤引线、预留引线);

亚搏网页登录:7.3、盲活套法兰CF16:5个;CF35:5个;

亚搏网页登录:7.4、CF16单芯瓷器封接引线卡箍:15个(高压力蓄电池放电金属电极);

亚搏网页登录:8、装配工艺机台架配置文件:1套

亚搏网页登录:优质方钢铝塑钢型材,机台内心用不锈钢材料蒙皮装潢,四只角轮,可牢实,可挪动;

亚搏网页登录:9、真空体侧量及电控系统管理体系:1套

亚搏网页登录:9.1、开关电源线机柜:1台(含供电局开关电源线,有关闭电源挡拆药理作用);

亚搏网页登录:9.2、放肆供电:1台(为丝机泵、电磁炉阀等市场机制供电);

亚搏网页登录:9.3、样板加温控温电压:1套(可完工西式控温);

亚搏网页登录:9.4、机电专业控制电源开关:1套;

亚搏网页登录:9.5、预热烘烤及灯光电源模块:1套;

亚搏网页登录:9.6、电阻器挥发电源模块:1套;

9.7、宽满量程数显式真空室计ZDF-5227(合肥):1套;仗量建设规模:(1.0x10 5Pa~1.0x10-5Pa); 

亚搏网页登录:9.8、E型电子元器件枪电源开关:1套:(昆明)

亚搏网页登录:9.9、200SCCM茶叶品质人流量显出器:1套;

亚搏网页登录:9.10、份子泵控制电源适配器:1套;

亚搏网页登录:10、备品备件:1套

亚搏网页登录:10.1、无氧铜密封带垫圈及滤油器

亚搏网页登录:CF16:3个;CF35:6个; CF200:6个;¢6mm卡套:4套; 

亚搏网页登录:10.2、氟胶圈:¢200mm:1个大概;¢100mm:4个;

亚搏网页登录:10.3、石英砂晶震片:10个;

亚搏网页登录:10.4、碘钨灯:俩个;

亚搏网页登录:10.5、图纸受热丝:1套;

亚搏网页登录:10.6、¢100mm铅有机玻璃:1块;

亚搏网页登录:10.7、手机枪灯丝:10个;

亚搏网页登录:10.8、热汽化坩锅:俩;

亚搏网页登录:10.9、304不锈钢标件:M3、M4各3个;

亚搏网页登录:10.10、电器电线电缆相干的保险费用丝:各6个。

二、热蒸发体系的首要构成及手艺目标

该标准体系中为单室椭圆形上翻盖格局三源三聚氰胺树脂热汽化标准体系中,第一步是用来成轻金属塑料膜的探讨任务卡,详解下述:

1.1系统敞开心扉单室半圆上翻盖选址。

1.2样本尺寸:截面积120mm,样本托;

1.3蜕变室合理安排3个热导率减压蒸馏舟,紫装减压蒸馏供电1套,减压蒸馏供电带转移保健作用。

1.4负压室引擎及准备零核心部件全数接收优异不透钢档案资料制造,氩弧电焊焊接,样貌预防接收国际金Z提高 先辈无机化学式增加光泽钝化预防加工制作工艺 。

2、体系建设的关键性结构及活儿后能

2.1、高压气室腔体零件:1套

进口机械泵系统度室腔体零部件尺寸大小:圆型落地进口机械泵系统度室,尺寸大小约为Φ350×H475,进口机械泵系统度室总体目标得到高进口机械泵系统度总体目标,壁挂式防污板,常用很好不锈钢材质的档案资料自制,氩弧电弧焊接,的外表应对得到喷钢化玻璃丸+电学电解抛光剂抛光剂钝化应对新技艺。

右上方开CF150刀口,设置CF150闸板阀与自动化束室相联,面前配备有观察窗,面前配备有灯饰照航灯,左上方留CF35口设置磁场通报会杆,来完成两室相爱的人交待。

正空室元件上焊有种类标准的活套法兰usb接口以上:

2.1.1、负压室上封头蝶阀法兰接口类型:5个(接仿品构件);

2.1.2、CF150活套法兰主板端口:个(份子泵主板端口,两室重复使用一份子泵);

2.1.3、CF35法兰部界面:6个(接高真空度电离规管、膜厚仪、旁抽、烘烤照明工程等);

2.1.4、CF16卡箍数据接口:两个(冲气液压压缩空气管道、放气液压压缩空气管道);

2.1.5、KF16法兰盘数据接口:3个(接低抽真空电阻器规管);

2.1.6、门框有一个RF100带安全玻璃挡片看查窗。

2.1.7、热扩散系数多效蒸发电级数据接口: 3套,三聚氰胺树脂水冷散热器电级;

2.1.8、挥发源隔板音频接口:2,半自动;

3.1、内阻汽化源:1套 

3.1.1、化掉油冷电级3根,包含2组化掉舟,化掉放肆24v电源模块两本,此中整套可另一半就能,化掉24v电源模块交流电压5-10V,电流量300A,Z大輸入输出3Kw;

3.1.2、蒸发器源清理合理隔板:2套; 

4.1、供试品台:1套

4.1.1 基片尺寸图:120mm基片托,。

5.1、洗濯铁离子源:1套

5.11、洗濯供试品亚铁离子源:

6.1、抽真空环境本底抽气与抽真空环境勘界:1套

6.1.1、放气阀及充汽阀: 2只 (杭州) 用来重力作用室消失及重力作用充汽通过。

6.1.2、其它调节阀 :CF35旁抽角阀 5个(哈尔滨) DN40电磁感应为止阀(川北)5个

7.1、重力作用室照明系统组装:1套

8.1、重力作用室留有检漏口和留有后备电源口太多:1套

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