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DZS-500S双室电子束与蒸发连系体系

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DZS-500S双室电子束与蒸发连系体系


  • DZS-500S双室电子束与蒸发连系体系

  • 详细先容

亚搏网页登录:山东大学专业

亚搏网页登录:网络推销时刻:201七年6月22日

装备称号:YJ-ZF350A高真空单室热蒸发体系

技术最终目标:

.指标体系概略

该体系为单室圆形上翻盖布局三源无机热蒸发体系,首要用来成长金属薄膜的研讨任务,详细以下:

1、机制采纳单室长方形上翻盖合理布局。

2、土样片台可扭折,0~30转/分 长期调节。

3、试样英文的尺寸:直径约100mm,试样英文托;

4、长大室预先存留俩个可配备石英晶体晶振温度探头装配工口;

5、发育室具体安排3个热扩散系数化掉舟,配置化掉电压2套,化掉电压带呼叫转移功效与作用即个化掉电压并能它是经过了整个过程呼叫转移控制两热扩散系数化掉舟,可成功完成两源共蒸。

6、我的成长室真空环境具有标准体系容忍国产图片份子泵(600L/S)+POS机泵(TRP-36 8L/S)停机抽气;配用旁抽管道,进一步单人请求效力。

7、真空室室应用程序及设备零控制部件全数认同达标率不锈钢装饰管文件生产,氩弧锡焊,外观加工认同亚太Z发展老一辈化学上增加光泽钝化加工方法。

二、组织体制的前提制成及技术卡能

发育室极限值真空室度≤8×10-5 Pa;抽速:40分钟左右会达到8×10-4 Pa

1、重力作用室腔体构件:1套

正空室腔体构件规格的尺寸:圆型立试正空室,规格的尺寸约为Φ350×H475,D型前锁门选址,正空室个人规划认同高正空个人规划,插座开关面板防污板,建议选用达标率不锈钢304材料做,氩弧焊接加工,看上去治理认同喷安全玻璃丸+电学电解设备打蜡 钝化治理新的工艺。

真空系统室部件上焊有各大金桥铜业跨接线的截面积大小的法兰片插孔有以下:

1、进口真空室上封头活套法兰模块:一个(接样机元件);

2、CF150蝶阀法兰电源插口:个(份子泵电源插口);

3、CF35卡箍标准接口:6个(接高真空室电离规管、膜厚仪、旁抽、烘烤灯具照明等);

4、CF16法兰盘界面:4个(进气线路、充气垫阀、一应急);

5、KF16法兰盘模块:一个(接低进口真空电阻功率规管);

6、KF40活套法兰接口类型:9个(接旁抽滤油器);

7、门扇有3个RF100带波璃隔板看查窗。

8、热导率蒸馏金属金属电极界面: 3套高分子散热金属金属电极;

9.多效蒸发源隔板电源接口:3个人工操作;

2、导热系数挥发舟及电源线:2套

传热系数蒸馏24v电源2台(工作功率3.5kw),一键更换知足3支蒸馏舟蒸馏表单提交;

散热量空调冷凝器器可以依照空调冷凝器材料搭配(钨舟、钽舟、钼舟);

化掉源隔板:3套手动挡吃妻上瘾。

3、打样定制台:1套

3.1 基片的尺寸:100mm基片托,蒸发掉间距220mm-300mm能调

4、蒸空本底抽气与蒸空侧量:-1套

4.1、复合材料份子泵:FF-600份子泵(重庆)1套

4.2、机械设备泵与电磁波阀: 抽速8升∕秒(飞越) 1套

4.3、份子泵与POS机泵毗连的合金金属高压软管:(杭州) 1套

4.4、pp数显仪表真空泵仗量规与计(睿宝ZDF-5227): 1套

热偶规:(KF16快卸法兰部) 1.0x103Pa ---1.0x10-1Pa    1只

电离规:(CF35刀口活套法兰) 1.0x10-1Pa ---1.0x10-5Pa    1只

4.5、放气阀及冲气阀: 2只 (哈尔滨) 代替机械泵室去掉及机械泵冲气进行

4.6、CF150自动改手动插板阀:(杭州川北)应用在切断长距离份子泵与成材室

4.7、同个铜阀:CF35旁抽角阀 3个(天津) DN40电磁能已停阀(帕纳)3个

5、电子控制系统与电:1套

5.1、总控主机电及土样跳出主机电:,0~30转/分 继续调节。1套

6、真空泵室照明灯具装配线:1套

7、蒸空室留线检漏口和留线后备电源口多少钱:1套

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