YJ-ZF350A高真空单室热蒸发体系
◆武器优点
该模式为高机械泵多营养价值铝离子束积聚模式， 模式都可以于建造纳米级级的双层结构及四层营养价值膜和混合膜-可烫金属、 各种合金、 氧化物、 半导体芯片、 媒质混合膜等。 年轻化采取于大学本科高校、 科技创新院所进行薄膜和珍珠棉质料的科技创新与小批处理化学合成。
◆防具包括
制度主要由推积室、 考夫曼溅射正阴离子源、 考夫曼洗濯协助正阴离子源、 供试品英文台、 供试品英文热处理安装、膜厚监测系统制度、 泵抽制度、 真空系统测量制度、 气路制度、 自动控制制度等带来。
◆厨艺总体目标
正空泵：程度正空泵6*10 -5 帕; 任务卡正空泵6*10 -4 帕
规复责任高压气属象：毗连拳套箱≤1020分钟
不毗连乳胶手套箱，充无趣惰性气体≤30秒钟
配备3个材料汽化掉源和3个无机物汽化掉源
配备有3个膜厚红外探头，膜厚仪填报志愿系统与国产品牌可供选择
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