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离子束溅射体系

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DZS—500电子束蒸发体系

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  • 具体先容

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◆DZS—500电子元器件束蒸馏保障体系好处

能用的 于Au, Ni, Ag, Ti, Al, Cr和Mo等合金材料和阳极非金属氧化物(ITO等)在基片上均衡堆砌多层住宅膜

◆DZS—500光电子束蒸发器标准体系形成

管理体制至关重要由囤积室、 考夫曼溅射正阴离子源、 考夫曼洗濯有助于正阴离子源、 备样台、 备样加温搭配、膜厚检测管理体制、 泵抽管理体制、 真空系统精确测量管理体制、 气路管理体制、 电控系统管理体制等分为。

◆技术关键

人体极限蒸空度： 6.6x10-5 Pa

膜厚平均水平性： ≤ ±5%

合格品Z大长宽比：84英寸晶圆

发动机转速： 3–30 rpm/m

样品管理进行加热温暖：制冷~300°C

气温人均性：≤ ±10°C

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